Контроль технологических производственных процессов

Использование SWIR камер для анализа микросхем

 

Коротковолновые SWIR тепловизионные камеры, установленные на оптические микроскопы, используются для проверки электронных микросхем на уровне чипа или пластины.

Силикон (Кремний) прозрачен для SWIR фотонов с длиной волны примерно от 1100нм и более.

Таким образом, SWIR камеры могут использоваться для выявления дефектов, трещин или примесей внутри микросхем или пластин.

 

Использование SWIR камер в микроскопии

 

Процесс производства MEMS (микро-электро-механических систем) устройств требует контроля различных слоев кремния.

SWIR-микроскопия используется в фотонных схемах, для количественной оценки потерь вдоль оптических волноводов, или потерь перехода на интерфейсах.

Другое приложение - локализация оптических сломов на основе микроскопии эмиссии фотонов.   

Высокочувствительные охлаждаемые SWIR камеры InGaAs могут обнаруживать слабую эмиссию разломов путем анализа выхода цепи.

 

Использование SWIR камер в Спектроскопии

 

SWIR спектроскопия обычно использует детекторы InGaAs линейного сканирования вместе со спектрографом для преломления света на матрицу линейного сканирования.

SWIR матрица или камера с 1024 пикселями выдаёт спектральный сигнал для 1024 разных длин волн.

Обычно требуется высокая чувствительность (крупные прямоугольные пиксели) с хорошим динамическим диапазоном.

Высокое спектральное разрешение переводится в матрицу линейного сканирования со множеством пикселей.

Для этого приложения существуют SWIR камеры линейного сканирования серии "Lynx" с термоэлектрическим охлаждением.

Для визуализации Коротковолновой SWIR спектроскопии или гиперспектральной визуализации обычно используется SWIR камера с матрицами InGaAs в сочетании с системой настраиваемого фильтра.

Обычно требуется высокая чувствительность (низкий шум) с хорошим динамическим диапазоном.

Визуальная спектроскопия может также использоваться и в Длинноволновой LWIR области.    

 Примерами служат приложения горной добычи, такие как минералогия или контроль бурового наконечника, где для классификации различных видов каменной среды необходима "широкополосная" спектроскопия, охватывающая видимый, SWIR и LWIR диапазоны.

Наш адрес: 127006, г. Москва,

ул. Тверская, д. 18, корп. 1

Tel.: +7 (495) 749-32-79 

E-mail: ABOptics@ABOptics.ru

© 2019 AB OPTICS   Все права защищены  http://aboptics.ru