Машинное зрение

Применение Коротковолновых SWIR камер в производстве Полупроводников и Солнечных батарей.

 

Коротковолновые SWIR тепловизионные камеры первоначально использовались в сфере  телекоммуникаций благодаря чувствительности к 1550нм свету, который обычно используется в оптических волокнах. В настоящее время SWIR визуализация используется в самых разнообразных приложениях в производстве Полупроводников и Солнечных батарей:

 

  •  Эмиссионная микроскопия: Микроскопия фотонной эмиссии, или электролюминесцентная визуализация - это относительно новый метод анализа отказов для обнаружения фотонных излучений из места дефекта, главным образом за счет механизмов рекомбинации носителя.

 

  •  Анализ повреждений: Направленный анализ отказов, в том виде как он применяется в микроэлектронике, обычно осуществляется в последовательности из пяти шагов: Во-первых это проверка отказа и локализация дефекта. Затем место дефекта подготавливается и маркируется для анализа; определяется характер дефекта и, наконец, начинается расследование его причин.

 

  •  Проверка солнечных батарей: КВИК-визуализация позволяет смотреть "сквозь" кремниевую пластину и таким образом вести контроль дефектов и отказов солнечных батарей, которые не могут быть обнаружены и визуализированы другими методами.

 

 Причиной низкоуровневой фотонной эмиссии являются дефекты кристаллической решетки полупроводников. Низкоуровневая фотонная эмиссия происходит как раз в наиболее чувствительной области SWIR-камер с термо-электрическим охлаждением InGaAs или датчиках двумерного сканирования HgCdTe. Таким образом, эти датчики хорошо подходят для анализа отказов и обеспечения качества производства полупроводников. Положительные результаты этих методик были успешно перенесены на экономичные методы характеризации нанотехнологических устройств.

Наш адрес: 127006, г. Москва,

ул. Тверская, д. 18, корп. 1

Tel.: +7 (495) 749-32-79 

E-mail: ABOptics@ABOptics.ru

© 2019 AB OPTICS   Все права защищены  http://aboptics.ru